太陽能電池板矽晶片邊緣蝕刻
發表時間： 2023-03-12 08:24:07
作者： 雷竞技在线入口
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太陽能電池板矽晶片邊緣蝕刻
等離子蝕刻機是專(zhuan) 門設計用來蝕刻的，所用行業(ye) 包括太陽能行業(ye) 單晶矽、多晶矽、非晶矽帶太陽能電池片(el ) 和矽片( wafer) 的劃片( 切割切片): 電子行業(ye) 單晶晶矽矽片( wafer ) 的分離切割。
甲岸等離子刻蝕機應用在太陽能電池矽片邊緣隔離及背部表麵氮化物或PSG( 磷矽酸鹽玻璃)去除，微波等離子係統具有RF射頻刻蝕係統不可比擬的高刻蝕速率，另一方麵直接微波等離子體(ti) 技術使電池片溫度保持在很低的水平從(cong) 而避免產(chan) 生熱應力。
提供擴散後的矽片,對其進行一次等離子刻蝕,去除矽片四周的磷矽玻璃,隨後,將等離子刻蝕後的矽片按照常規流程進行濕法刻蝕,本發明提供的太陽能電池邊緣刻蝕方法,通過增加一次傳(chuan) 統的等離子刻蝕,去除擴散後的矽片周邊的磷矽玻璃,而使中間大部分的麵積上保留磷矽玻璃的覆蓋從(cong) 而在後續的濕法刻蝕過程中保護擴散層不受氣相腐蝕,提高方塊電阻穩定性:同時利用矽片周邊的課露矽本體(ti) 的疏水性質防上刻蝕液浸潤矽片的上表麵,兩(liang) 次刻使後,電池片的並聯電阻和填充因子明顯提高漏電流顯著降低.從(cong) 而實現低成本,高穩定性,高並聯電阻的濕法刻蝕。
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