電漿蝕刻機百科
發表時間： 2023-07-13 13:44:32
作者： 雷竞技在线入口
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電漿刻蝕機是一種利用等離子體(ti) （電漿）對材料表麵進行清洗的設備。產(chan) 品可以提供穩定的表麵處理效果，帶來改性、刻蝕等多種用途。
電漿刻蝕機原理
等離子體(ti) (plasma)又叫做電漿，設備的核心就是等離子體(ti) ，它是很好的導電體(ti) ，通過磁場可以移動、加速等離子體(ti) ，通過其特性在材料、能源、環境、物理等多個(ge) 領域帶來幫助；電漿刻蝕機通過等離子發生器產(chan) 生的等離子體(ti) 對產(chan) 品表麵進行處理，與(yu) 表麵進行化學反應生產(chan) 揮發性物質，在表麵形成需要的圖案以及紋路，達到刻蝕的目標。
電漿刻蝕機應用
芯片製造：利用純四氟化碳氣體(ti) 或四氟化碳與(yu) 氧氣結合，可在晶圓上形成微米級氮化矽刻蝕，四氟化碳與(yu) 氧氣、氫氣結合可去除四氟化碳。
電路板製造：隨著行業(ye) 發展，電路板越來越小，上麵孔也越來越小，傳(chuan) 統的藥劑清洗難以處理微孔問題，等離子體(ti) 具有很強的擴散性，因此產(chan) 生的刻蝕氣相等離子體(ti) 可以有效刻蝕微米級孔洞，通過調整工藝參數可以控製咬蝕量。
電漿刻蝕機在很多行業(ye) 都得到了廣泛應用，解決(jue) 很多材料表麵處理上的難題，廠家可以根據自身需求進行產(chan) 品定製以滿足生產(chan) 中的應用。
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