真空等離子清洗機100L
應用範圍：
1、對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等，表麵進行清洗，活化改性，去有機物，去氧化物，去顆粒；
2、提升親(qin) 水性，增強粘接性，附著力，分子活性。
雷竞技竞猜平台真空等離子清洗機 100L
雷竞技竞猜平台真空等離子清洗機采用8K鏡麵不鏽鋼腔體(ti) 設計，密封性卓越；13.56射頻等離子發生器，產(chan) 生高密度等高子體(ti) ，確保出眾(zhong) 的清洗效果，滿足用戶對產(chan) 品表麵處理需求。
產品應用
1、對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等，表麵進行清洗，活化改性，去有機物，去氧化物，去顆粒；
2、提升親(qin) 水性，增強粘接性，附著力，分子活性。
產品特點
- 不鏽鋼托盤設計，可調節托盤間距
- 8K鏡麵不鏽鋼腔體，密封性卓越
- 高密度等高子體，確保出眾的清洗效果；
- 可視化觸摸屏，過程參數實時監控。
- 支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
- 高精度氣體流量監測係統，兩路工藝氣體配置(氬氣、氧氣），雙路氣流控製，比例可調
型 號 | AP-VM100 | |||
等離子源係統 | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | 40KHz 中頻 | |
功 率 | 0~1000W可調 | 0-5000W可調 | ||
選配 | ||||
真空係統 | 真空腔體(ti) | 材質 | 316L不鏽鋼、航空鋁（選配） | |
腔體(ti) 內(nei) 部尺寸(MM) | 450*500*450（寬*高*深) | |||
極板有效尺寸(MM) | 410*400 （寬*深) | |||
極板 | 11層，水平式，活動可調節 | |||
腔體(ti) 容積 | 100L | |||
密封性 | 軍(jun) 工級焊接密封 | |||
泵 | 真空泵 | 油泵/幹泵+羅茨泵組合（選配） | ||
真空管路 | 不鏽鋼管、不鏽鋼波紋管 | |||
真空計 | 1×105~1×10-1Pa | |||
質量流量計 | ＜±1% FS | |||
氣路控製 | 2-4路處理氣體(ti) 氣路，氣體(ti) 流量可調 | |||
極限真空 | 5Pa | |||
適用氣體(ti) | 流量範圍 | 0-500SCCM（可調） | ||
工藝氣體(ti) | Ar、N₂、O₂、H₂等等（可選） | |||
外觀參數 | 外形尺寸(MM) | 850*1700*1020(寬*高*深） | ||
重 量 | 550KG | |||
設施配置 | 電 力 | 五線線三相製AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規範 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規範》等國標標準相關(guan) 規定 | ||
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